| 摘要 |
波長毎のフィルタの面積差を小さくし、画素の微細化に対応した光学フィルタを搭載した固体撮像装置を提供することを目的とする。そのため、固体撮像装置は、二次元マトリクス状に配置された受光素子と、受光素子と一対に、それぞれの受光素子の受光面上に配置され、所定波長の光を透過する金属光学フィルタと、を備え、少なくとも一部の金属光学フィルタは、金属膜と、周期的に前記金属膜に配置されたホールと、ＳｉＯ２よりも高屈折率であって前記金属膜を被覆する高屈折率材料と、を有するか、又は、前記高屈折率材料からなる高屈折率層と、前記所定波長未満の周期で前記高屈折率層に配置された金属のアイランドと、を有することを特徴とする。 |
