利用顺应性材料的窗冷却

摘要

此述的实施方式一般涉及用于处理基板的设备。该设备大体上包括处理腔室，该处理腔室包括灯壳体，该灯壳体含有多个灯，所述灯定位在邻近透光窗处。灯壳体内的灯提供辐射能至定位于基板支座上的基板。使用灯壳体内的冷却通道，有助于透光窗的温度控制。灯壳体使用顺应性导体热耦接透光窗。所述顺应性导体维持均一的传导长度，而无关透光窗与灯壳体的机械加工公差。均一的传导长度促进准确的温度控制。因为顺应性导体的长度是均一的而无关腔室部件的机械加工公差，所以对不同的处理腔室而言，传导长度相同。因此，多个处理腔室之间的温度控制是均一的，从而减少腔室与腔室间的差异。

主权项

一种处理腔室，包括：腔室主体，包括透光窗；灯壳体，设置于邻近所述透光窗处，所述透光窗与所述灯壳体之间具有间隙，且一或多个冷却通道设置在所述灯壳体内；及多个顺应性导体，设置在所述灯壳体与所述透光窗之间的所述间隙中，且接触所述灯壳体与所述透光窗，所述顺应性导体中的至少一些顺应性导体上包括涂层，所述涂层包括碳氟化合物、硅树脂、或聚酰亚胺的一或多者。