| 摘要 |
印刷マスク３２のパターン印刷領域Ｐ（印刷領域Ｐ）上にコートされたドーパント含有ペースト（ペースト）２１を印刷領域Ｐに設けられた開口パターンを介して印刷領域Ｐの下部に配置されたｐ型シリコン基板の被印刷面に印刷するスクリーン印刷機であって、印刷マスク３２の上面におけるスクレッパ３５の摺動領域よりも外周側に印刷マスク３２の上面と印刷領域Ｐ側の側面が密着して設けられて、スクレッパ３５の摺動領域からはみ出したペースト２１をスクレッパ３５の摺動領域側に跳ね返す土手部材３６とを備え、土手部材３６は、スクレッパ３５の摺動方向における下流側から上流側に向かって低くなる傾斜面を上面に有し、スクレッパ３６およびスキージ３５の摺動時にスクレッパ３５の摺動領域からはみ出して傾斜面に移動したペースト２１が、傾斜面の傾斜により上流側に移動した後に前記印刷マスクの上面に流れて前記スクレッパ３５の摺動領域に還流する。 |
