スパッタリング装置

摘要

【課題】着火に有利な構成を有するスパッタリング装置の提供。【解決手段】ターゲット１１０の近傍の空間３１の圧力が内側空間３４よりも高くなるような圧力分布をチャンバ１０１内に形成する。これにより、ガス供給部２２からのガスの供給の開始後に、プラズマを発生させるための着火が可能な状態に速やかに移行することができるスパッタリング装置１００。【選択図】図１