纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法

摘要

本发明提供了一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。

主权项

一种纳米探针制作方法，其特征在于，包括：提供纳米探针半成品加工装置及纳米探针半成品；所述纳米探针半成品加工装置包括：恒温槽、设置于所述恒温槽上方的导热金属板；其中，所述导热金属板上设置有固定纳米探针半成品的固定元件；所述恒温槽中装有化学腐蚀液；将纳米探针半成品的一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中；调整纳米探针半成品浸泡入化学腐蚀液中的浸泡深度；调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度；调控所述预定温度，直至纳米探针半成品的针尖细度满足实际应用的要求。