集成微机电开关及其相关方法

摘要

一种系统包括耦合到彼此的、包括多个门控的多个微机电开关。每一个微机电开关包括布置在基底上的梁电极。梁包括耦合到所述梁电极的锚部分。所述梁包括沿第一方向从所述锚部分延伸的第一梁部分；以及沿与所述第一方向相反的第二方向从所述锚部分延伸的第二梁部分。第一控制电极和第一接触电极被布置在所述基底上，面向所述第一梁部分。第二控制电极和第二接触电极被布置在所述基底上，面向所述第二梁部分。所述第一控制电极和所述第二控制电极被耦合，以形成在所述多个门控之中的门控。所述多个微机电开关以串联安排、并联安排中的至少一个来安排。

主权项

一种系统，包括：耦合到彼此的、包括多个门控的多个微机电开关，其中每一个微机电开关进一步包括：基底；梁电极，被布置在所述基底上；梁，包括耦合到所述梁电极的锚部分、沿第一方向从所述锚部分延伸的第一梁部分、以及沿与所述第一方向相反的第二方向从所述锚部分延伸的第二梁部分；第一控制电极和第一接触电极，所述第一控制电极和所述第一接触电极被布置在所述基底上，面向所述第一梁部分；以及第二控制电极和第二接触电极，所述第二控制电极和所述第二接触电极被布置在所述基底上，面向所述第二梁部分；其中所述第一控制电极和所述第二控制电极被耦合，以形成所述多个门控之中的门控；其中，所述多个微机电开关以串联安排、并联安排中的至少一个来安排。