用于曝光的光源模块单元及包括该光源模块单元的曝光装置

摘要

本发明提出一种用于曝光的光源模块。利用本发明的曝光用光源模块单元包括：光源板，其构成为，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的列阵构造贴装于电路基板上，并装载于支撑板；光学板，其具有如下构造，多个单位聚光透镜以从与所述发光元件分别对应的位置相对主光轴向穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的列阵结构设置在以与所述光源板相互面对的形态配置于所述紫外线发光元件的光射出侧的透镜板。根据所述构成，使得从各个单位紫外线发光元件(UV LED)照射而来的扩散光有效地聚光至以孔(aperture)形态设定在曝光装置的光学系统的收光区域，从而可谋求通过低耗电的光亮的最大化，尤其通过实现高效率、高输出的单一波长、短波长的紫外线光，可确保突破性地提高曝光图案的微细化和分辨率的曝光性能的同时，可具有实用且经济可行地替代现有曝光装置的光源的效果。

主权项

一种用于曝光的光源模块单元，其特征在于，包括：光源板，其构成为，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的列阵构造安装于电路基板上，并装载于支撑板；光学板，其具有如下构造，多个单位聚光透镜以从与所述发光元件分别对应的位置相对主光轴向穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的列阵结构设置在以与所述光源板相互面对的形态配置于所述紫外线发光元件的光射出侧的透镜板。