一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法

摘要

本发明公开了一种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法，包括旋转运动系统，径向运动系统，垂直运动系统和支架；旋转运动系统包括连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过第一传动装置驱动主臂旋转，主臂顶端穿出所述的上支架与径向运动系统相连接进而驱动径向运动系统旋转；径向运动系统包括一连接在径向支架上的径向驱动电机，径向驱动电机通过第二传动装置驱动沿两径向导轨滑动的机械手爪，机械手爪表面设置有用于吸附晶圆的真空吸附装置；垂直运动系统包括连接在所述垂直电机支架上的垂直驱动电机，垂直驱动电机通过第三传动装置驱动沿两线性导向轴上下移动的升降架，进而驱动旋转运动系统和径向运动系统上下移动。

主权项

一种单臂三自由度的晶圆传输机械手，其特征在于，包括旋转运动系统，径向运动系统，垂直运动系统和安装三个所述系统的机架；所述的支架包括上下安装的上支架和下支架；所述旋转运动系统包括一连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过第一传动装置驱动一主臂旋转，所述主臂顶端穿出所述的上支架与径向运动系统相连接进而驱动径向运动系统旋转；所述径向运动系统包括一连接在径向支架上的径向驱动电机，径向驱动电机通过第二传动装置驱动一沿两径向导轨滑动的机械手爪，所述机械手爪表面设置有用于吸附晶圆的真空吸附装置；所述垂直运动系统包括一连接在所述垂直电机支架上的垂直驱动电机，所述垂直驱动电机带有电磁抱闸制动装置，确保了电机失电后电磁抱闸线圈也失电，使制动器的闸瓦紧紧抱住闸轮电机被制动而停转，所述垂直驱动电机通过第三传动装置驱动沿两线性导向轴上下移动的所述升降架，进而驱动旋转运动系统和径向运动系统上下移动。