一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下：（1）喷涂浆料的制备：首先将一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，搅拌得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述氮化硅浆液中，继续搅拌均匀制得喷涂浆料；（2）刷涂浆料的制备：首先量取一定量的步骤（1）所述喷涂浆料用作刷涂浆料前驱体，然后加入超纯水，搅拌均匀制得刷涂浆料；（3）氮化硅涂层的制备：首先将刷涂浆料均匀地刷涂在坩埚内表面上，待水分蒸发后再将喷涂浆料均匀喷涂到坩埚内表面上。本发明制备的氮化硅涂层隔绝性能相对现有技术更好，可以有效提高硅锭的收益率，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。

主权项

一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法，其特征在于，通过以下步骤实现：（1）喷涂浆料的制备：首先将一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，所述氮化硅粉体的加入量为所述超纯水的30~50wt%，搅拌5~30min得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述氮化硅浆液中，所述硅溶胶的加入量为所述超纯水体积的10~25%，继续搅拌均匀制得喷涂浆料；（2）刷涂浆料的制备：首先量取一定量的步骤（1）所述喷涂浆料用作刷涂浆料前驱体，所述刷涂浆料前驱体为步骤（1）所述喷涂浆料的20~40%，然后加入超纯水，所述超纯水的加入量为所述刷涂浆料前驱体体积的50~150%，搅拌均匀制得刷涂浆料；（3）氮化硅涂层的制备：首先将刷涂浆料均匀地刷涂在坩埚内表面上，待水分蒸发后再将喷涂浆料均匀喷涂到坩埚内表面上，所述坩埚温度为50~90℃，所述喷涂距离为10~30cm，所述喷涂压力为0.2~0.5MPa。