| 摘要 |
본 발명은 프로브핀 본딩 장치용 픽업유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로브핀을 어레이유닛에 전자동으로 이송하기 위한 프로브핀 본딩 장치용 픽업유닛에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예는 프로브핀을 이송하는 프로브핀 본딩 장치용 픽업유닛으로서, 상기 프로브핀을 베이스유닛으로 이송하는 픽업그립모듈; 및 상기 베이스유닛 상의 상기 프로브핀을 어레이유닛으로 이송하는 픽업턴모듈을 포함하며, 상기 픽업그립모듈은 웨이퍼 상의 프로브핀을 픽업하여 이송하는 것을 특징으로 하는 것인 프로브핀 본딩 장치용 픽업유닛을 제공한다. |
