| 主权项 |
一种基板衬垫装置，其载置并保持第1基板，并且承受将第2基板热压接于所述第1基板时的按压力，所述基板衬垫装置具备：基底部，其在上表面设置有水平的平坦面；和衬垫板，其下表面与所述基底部的所述平坦面相抵接，在与所述下表面平行的上表面设置有与所述第1基板的下表面相抵接来进行支撑的衬垫支撑面，所述衬垫支撑面具有：对载置于所述衬垫板的所述第1基板的下表面进行保持的保持平面部；包含将第2基板压接于所载置的所述第1基板的压接区域的位置以及形状的开口部；和与所述开口部相邻地设置，对所述第1基板的高度位置进行限制的高度基准部，还具备承接部件，其配置于所述开口部内，在所述热压接时与所述第1基板的下表面以及在该下表面的与所述压接区域相对应的区域预先安装的构件相抵接，赋予与所述按压力相对应的向上的支撑反作用力，所述承接部件与所述衬垫板为不同体，所述承接部件具备多个反弹部件，所述反弹部件由具有通过外力而自由伸缩，根据压缩的程度来产生规定的反弹力，并且通过去除外力而恢复原形状的特性的材质构成，所述反弹部件将通过被与上表面相抵接的所述第1基板的所述下表面以及所述构件向下方挤压而产生的向上的反弹力，作为支撑反作用力而作用于所述第1基板以及所述构件，所述反弹部件具备多个块，所述多个块通过从上表面延伸的切缝来划定，能够被分别挤压，密接地聚集形成所述多个块。 |
