| 摘要 |
標的基板から反射された極端紫外（ＥＵＶ）光をセンサに向かって反射する方法と装置が開示される。システムは、標的基板から反射されたＥＵＶ光を受け取り、反射するように配置された第一のミラーと、第一のミラーにより反射されたＥＵＶ光を受け取り、反射するように配置された第二のミラーと、第二のミラーにより反射されたＥＵＶ光を受け取り、反射するように配置された第三のミラーと、第三のミラーにより反射されたＥＵＶ光を受け取り、反射するように配置された第四のミラーと、を含む。第一のミラーは非球面を有する。第二、第三、および第四のミラーは各々、球面を有する。 |
