| 摘要 |
【課題】大型の画素を有する固体撮像素子において、マイクロレンズにより感度向上を図る場合に、マイクロレンズの材料や製造工程条件を大きく変更することなく、微細画素を有する固体撮像素子の場合と同程度の集光距離に集光させて高感度化した固体撮像素子を提供すること。【解決手段】表面が多数の画素に区画され、これら画素のそれぞれに光電変換素子が配置された半導体基板と、この半導体基板の上に配置され、入射光を光電変換素子のそれぞれに集光させるマイクロレンズとを備える固体撮像素子において、１画素上の同一平面内に複数のマイクロレンズを稠密に設ける。【選択図】図１ |
