アモルファスリチウム含有化合物を作製するための蒸着方法

摘要

リンを含有しないアモルファスリチウム含有酸化物又は酸窒化化合物を作製する蒸着方法であって、上記化合物の各成分元素の蒸発源であって、少なくとも、リチウムの源、酸素の源、酸窒化化合物の場合には窒素の源、及び１つ又は複数のガラス形成元素の源又は源群を含む蒸発源を提供する工程と、基板をほぼ１８０℃以上まで加熱する工程と、蒸発源からの成分元素を加熱された基板上に共蒸着する工程であって、前記成分元素同士は前記基板上で反応して前記アモルファス化合物を形成する、工程とを含む方法。【選択図】図１