ミラー支持構造、ミラー構造体およびその製造方法

摘要

【課題】ミラーの面精度劣化を回避できるミラー支持構造、ミラー構造体およびその製造方法を提供する。【解決手段】ミラー支持構造（２０）は、ミラー（１０）を複数支点で支持する複数の支持ロッド（１００）を有し、複数の支持ロッドの各々に各支持ロッドを分割可能な分離可能接合部（１０４）を有する。支持ロッドが一方の端部にミラーを接着するための接着パッド（１０１）を、他方の端部に固定部（１０７）を有し、接着パッドと固定部との間に分離可能接合部が設けられている。【選択図】図４