| 摘要 |
【課題】本発明は、成膜するときに粉末の表面を均す機構を有する粉末コーティング装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る粉末コーティング装置は、バレル３と、バレル内を真空引きする排気手段４と、バレル内に設置されたスパッタリング装置２と、を有し、バレルは、主軸Ｃが水平方向を向いており、かつ、主軸Ｃを中心に回転し、スパッタリング装置は、バレルに入れられた粉末７の表面にコーティング膜を形成する粉末コーティング装置１００において、バレルの内側側壁３ａのうち、バレルの回転によって上方向に移動する部分の側壁に接した状態で配置され、粉末が迫り上がる上限位置を定める粉末上昇抑制部品１３と、粉末上昇抑制部品よりも下方の位置で、バレルの内側側壁に間隔をあけて配置され、主軸Ｃを回転中心として搖動運動をする粉末の均し部品９と、を有する。【選択図】図１ |
