| 摘要 |
본 발명은 레이저 빔(100)을 액체 제트(200)에 결합하기 위한 기계 가공 헤드(1)에 관한 것이다. 기계 가공 헤드(1)는 상기 레이저 빔(100)의 초점을 맞추기 위한 적어도 하나의 광학 구성 요소(20, 21.1,..., 21.4)를 구비하는 광학 유닛(2), 그리고 벽에 의해 획정되는 액체 챔버(32)를 구비하며, 상기 벽의 내부에 액체 제트(200)를 발생시키기 위한 노즐 개구(37)를 구비하는 노즐(33)이 배치되어 있는 결합 유닛(3)을 포함한다. 상기 결합 유닛(3)이 상기 광학 유닛(2)에 연결되어 있는 상태에서, 상기 광학 유닛(2)에 의해 초점이 맞추어질 수 있는 상기 레이저 빔(100)이 빔 방향으로 상기 결합 유닛(3)의 액체 챔버(32)를 통해 상기 노즐 개구(37)로 보내질 수 있으며, 상기 노즐(33)에 의해 발생 가능하며 빔 방향으로 이동하는 상기 액체 제트(200)에 결합될 수 있다. 상기 광학 유닛(2)으로부터 상기 액체 챔버(32)로 액체가 공급되도록 하기 위하여, 액체 인터페이스(50)가 상기 광학 유닛(2)과 상기 결합 유닛(3)의 사이에 형성된다. 상기 결합 유닛(3)이 상기 광학 유닛(2)에 연결되어 있는 상태에서, 빔 방향에서 봤을 때 상기 액체 인터페이스(50)가 빔 방향으로 마지막에 위치한 상기 광학 유닛(2)의 광학 구성 요소(20, 21.4)의 전방에 배치된다. |
