摘要 |
본 발명의 일 실시예는 산화 방지부를 구비하는 기판 열처리 시스템에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 인쇄된 후 소성되는 기능성 전자 잉크 패턴의 산화를 방지할 수 있는 산화 방지부를 구비하는 기판 열처리 시스템을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 기판에 인쇄된 전자 잉크 패턴을 소성하는 플래시 램프부; 및 플래시 램프부에 설치되어 전자 잉크 패턴의 산화를 방지하는 산화 방지부로 이루어진 기판 열처리 시스템을 개시한다. 여기서, 산화 방지부는 전자 잉크 패턴에 불활성 가스를 분사할 수 있다. |