发明名称 ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法
摘要 【課題】製造関連処理の種類によらず、簡易にかつ低コストに支持体からガラスフィルムを剥離する。【解決手段】支持体1からガラスフィルム2を剥離するに際して、ガラスフィルム2から食み出した支持体1のコーナー部4に支持体1を支持する第一支点P1を設けると共に、第一支点P1から離れた位置に積層体3を支持する第二支点P2を設ける。そして、第一支点P1と第二支点P2との間に外力付与部材18で外力Fの作用点を設けることにより、支持体1の側に凹部3cが生じるように積層体3の一部を凹状に変形させる。然る後、積層体3の一部が凹状に変形している間に、ガラスフィルム2と支持体1との間に楔状部材19を挿入することで、支持体1からガラスフィルム2の一部を剥離させる。【選択図】図10
申请公布号 JP2017024950(A) 申请公布日期 2017.02.02
申请号 JP20150146954 申请日期 2015.07.24
申请人 日本電気硝子株式会社 发明人 山崎 康夫;南 貴博;饗場 久敏;岡 隆雄;藤田 崇
分类号 C03C27/06;H01L51/50;H05B33/02 主分类号 C03C27/06
代理机构 代理人
主权项
地址