エッチングチャンバ部材としての、焼結ナノ結晶粒化イットリウムをベースとしたセラミックの使用

摘要

【課題】半導体処理のための耐プラズマ性パーツの表面をイットリウム材料で構成するにあたり、良好な厚膜を得るための装置及び方法を提供する。【解決手段】イットリウム、酸化物、およびフッ化物を含む焼結ナノ結晶セラミック材料で形成することにより耐プラズマ性パーツを作成する。こうして作成されるパーツとして、窓、エッジリングまたは注入器が挙げられる。パーツは、アルミナと共焼結されるイットリアであってよく、これは、透明でありえる。【選択図】図２