| 摘要 |
【課題】本発明は、ヘリウムガスを安定して再凝縮することの可能な循環式ヘリウム再凝縮装置、及び循環式ヘリウム再凝縮方法を提供することを課題とする。【解決手段】流量測定部２７、自動コントロール弁３１、及び圧力測定部２９と電気的に接続され、圧力測定部２９が測定する圧力値が予め設定された目標圧力値で安定するように、自動コントロール弁３１の開度をＰＩＤ制御するために必要な第１の制御信号を算出するとともに、流量測定部２７が測定する流量値が予め設定された目標流量値で安定するように、自動コントロール弁３１の開度をＰＩＤ制御するために必要な第２の制御信号を算出する制御部３３を含む。【選択図】図１ |
