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Ein Substratträger (100b) kann aufweisen: eine Trägerplatte (102), die eine Vielzahl von Substrataufnahmeregionen (104, 114) aufweist, wobei jede Substrataufnahmeregion (104, 114) mindestens einen ersten Vertiefungsabschnitt (104a, 114a) aufweisen kann, der eine erste Tiefe (124a) aufweist, und mindestens einen zweiten Vertiefungsabschnitt (104b, 114b), der eine zweite Tiefe (124b) aufweist, wobei die zweite Tiefe (124b) größer als die erste Tiefe (124a) ist; und eine Trägerplatten-Montagestruktur, die zum Abstützen der Trägerplatte (102) konfiguriert ist. |
