| 摘要 |
【課題】球面収差が良好に補正される設定を短時間で特定する技術を提供する。【解決手段】顕微鏡システム１は、画像データを取得する顕微鏡装置と演算装置２０とを備える。顕微鏡装置は、対物レンズ１１０と、球面収差を補正する補正環１１１を有する。演算装置２０は、対物レンズ１１０と観察対象面との間の媒質の情報に基づいて、顕微鏡装置で発生する球面収差量を推定する。顕微鏡システム１は、顕微鏡装置で取得された画像データから算出されたコントラスト値と演算装置２０で推定された球面収差量とを用いて、顕微鏡装置で発生する球面収差量に対応する補正環１１１の設定値である設定目標値を特定する。【選択図】図１ |
