試料台および試料加工方法

摘要

【課題】イオンビーム加工用の取り扱いやすい試料台を提供する。【解決手段】試料Ｓにイオンビームを照射して加工する際に、試料Ｓを保持するために用いられる試料台であって、試料Ｓが固定される試料固定部２０と、試料固定部２０を支持している支持部１０と、を含み、試料固定部２０は、支持部１０から第１方向Ａに突出し、平面視で第１方向Ａと交差する第２方向Ｂに長手方向を持つ結晶粒で構成された圧延組織を有する金属で構成されている。【選択図】図２