| 发明名称 | 阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备，包括控制器、匹配网络和电机，所述电机用于调节所述匹配网络的输入阻抗，其特征在于，还包括记录单元，所述记录单元用于记录所述电机的实时位置或初始预设位置；所述控制器根据所述电机的实时位置或初始预设位置在所述电机完成上次匹配任务后、执行下次匹配任务前复位。该阻抗匹配器的匹配效率和匹配精度高。本发明还提供一种阻抗匹配方法及半导体加工设备。 | ||
| 申请公布号 | CN106376168A | 申请公布日期 | 2017.02.01 |
| 申请号 | CN201510427518.8 | 申请日期 | 2015.07.20 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张超;陈鹏;王东 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种阻抗匹配器，包括控制器、匹配网络和电机，所述电机用于调节所述匹配网络的输入阻抗，其特征在于，还包括记录单元，所述记录单元用于记录所述电机的实时位置或初始预设位置；所述控制器根据所述电机的实时位置或初始预设位置在所述电机完成上次匹配任务后、执行下次匹配任务前复位电机。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||