| 摘要 |
【課題】ロッドレンズアレイを構成する各レンズ素子の主走査方向を回転中心とした副走査方向傾きを精度良く検出できるようにする。【解決手段】レンズアレイ検査装置１は、副走査方向の位置に応じて主走査方向の幅が変化する第２スリットＳＬ２を通過した光の強度を第２光強度Ｔ２とし、これを規格化して規格化光強度Ｒを算出し、この規格化光強度Ｒと副走査方向位置との関係を予め特性関数として求め、記憶するようにした。レンズアレイ検査装置１は、ロッドレンズアレイ１０を検査する場合、検査対象のレンズ素子１３及び第２スリットＳＬ２を通過した光の強度を表す第２光強度Ｔ２を規格化して規格化光強度Ｒを算出し、これを特性関数に適用するだけで、副走査方向位置を精度良く算出することができる。【選択図】図４ |
