顕微鏡装置

摘要

【課題】対物レンズと任意の対象物との接触を素早く且つ確実に検知する技術を提供する。【解決手段】顕微鏡装置１００は、対物レンズ１２と、超音波振動を発生させる超音波発生器１５と、超音波発生器１５で発生し対物レンズ１２を介して伝播した振動を検出する超音波検出器１６と、超音波検出器１６で検出した振動に基づいて対物レンズ１２の接触を検知する演算装置３０を備える。【選択図】図１