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发明名称
ミラー装置
摘要
ミラー装置は、ミラーと、前記ミラーを保持する第1の固定部材と、前記第1の固定部材を、第1の回転軸を中心に回転可能に保持する第2の固定部材と、前記第2の固定部材に配置され前記第1の固定部材を回転させるアクチュエータと、前記第1の回転軸を中心に回転する前記ミラーを含む構造体が、前記ミラーの反射面の中心に略一致する重心位置を持つように、前記第1の固定部材に配置されたカウンターウエイトと、を備えてもよい。
申请公布号
JPWO2014119200(A1)
申请公布日期
2017.01.26
申请号
JP20140559533
申请日期
2013.12.25
申请人
ギガフォトン株式会社
发明人
川筋 康文;亀田 英信
分类号
G02B7/182;G02B26/08;G03F7/20;H01S3/10
主分类号
G02B7/182
代理机构
代理人
主权项
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