发明名称 ミラー装置
摘要 ミラー装置は、ミラーと、前記ミラーを保持する第1の固定部材と、前記第1の固定部材を、第1の回転軸を中心に回転可能に保持する第2の固定部材と、前記第2の固定部材に配置され前記第1の固定部材を回転させるアクチュエータと、前記第1の回転軸を中心に回転する前記ミラーを含む構造体が、前記ミラーの反射面の中心に略一致する重心位置を持つように、前記第1の固定部材に配置されたカウンターウエイトと、を備えてもよい。
申请公布号 JPWO2014119200(A1) 申请公布日期 2017.01.26
申请号 JP20140559533 申请日期 2013.12.25
申请人 ギガフォトン株式会社 发明人 川筋 康文;亀田 英信
分类号 G02B7/182;G02B26/08;G03F7/20;H01S3/10 主分类号 G02B7/182
代理机构 代理人
主权项
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