半导体设备运动传输模块的异常处理方法

摘要

本发明公开了一种半导体运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。本发明还提供了一种异常处理系统，提高了对于作业期间异常情况的捕捉和处理效率。

主权项

一种半导体设备的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，其特征在于，包括以下步骤：S1：捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；S2：提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及S3：依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理；其中，在步骤S1之前，还包括存储每一个所述运动传输模块在作业运行期间可能发生的异常情况的步骤；步骤S2中根据该存储的信息捕捉所述异常情况并定位发生所述异常情况的运动传输模块。