| 摘要 |
필러나 이물을 줄인 특수한 기재 필름(예를 들면 PET 필름 등)을 사용하지 않고, 두께가 얇은 부분이나, 관통 구멍이 존재하지 않는 고품질의 세라믹 그린시트를 제조하는 것이 가능한 이형 필름(캐리어 필름) 및 그것을 사용한 신뢰성이 높은 적층 세라믹 전자부품의 제조방법을 제공한다. 표면에 복수의 돌기부를 가지는 기재 필름과, 그 표면을 덮는 이형층을 포함한 이형 필름에 있어서, 이형층의 표면으로부터 기재 필름의 돌기부의 근원까지의 치수인 이형층의 두께(T1)를 기재 필름의 돌기부의 정점으로부터 돌기부의 근원까지의 방향(X)을 따른 방향의 치수인 돌기부의 높이(H)보다 크게 한다. 또한 표면에 복수의 오목부를 가지는 기재 필름과, 그 표면을 덮는 이형층을 포함한 이형 필름에 있어서, 이형층의 표면으로부터 기재 필름의 오목부의 바닥면까지의 치수인 이형층(T2)의 두께를 오목부의 깊이(D)보다 크게 한다. |
