一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法

摘要

本发明实施例提供一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法，所述方法包括：在有序铝纳米碗OAB阵列模板样品表面热蒸镀第一预设厚度的银薄膜；将所述OAB阵列模板样品放入原子层沉积腔中加热至250℃，使银薄膜固态脱湿以形成有序的银纳米球阵列；在所述原子层沉积腔中通入前驱体三甲基铝和水，在银纳米球颗粒表面沉积第二预设厚度的Al₂O₃薄膜，得到Ag‑Al₂O₃核壳纳米球阵列结构；将所述Ag‑Al₂O₃核壳纳米球阵列结构从所述原子层沉积腔中取出，在其表面再热蒸镀第三预设厚度的银薄膜，以形成有序Ag‑Al₂O₃‑Ag核壳纳米球阵列结构，从而作为表面拉曼增强活性基底，以检测探针分子的拉曼信号。上述技术方案实现大面积制备有序超高密度的贵金属纳米结构阵列，作为表面拉曼增强活性基底。

主权项

一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法，其特征在于，所述方法包括：在有序铝纳米碗OAB阵列模板样品表面热蒸镀第一预设厚度的银薄膜；将所述OAB阵列模板样品放入原子层沉积腔中加热至250℃，使银薄膜固态脱湿以形成有序的银纳米球阵列；在所述原子层沉积腔中通入前驱体三甲基铝和水，在银纳米球颗粒表面沉积第二预设厚度的Al₂O₃薄膜，得到Ag‑Al₂O₃核壳纳米球阵列结构；将所述Ag‑Al₂O₃核壳纳米球阵列结构从所述原子层沉积腔中取出，在其表面再热蒸镀第三预设厚度的银薄膜，以形成有序Ag‑Al₂O₃‑Ag核壳纳米球阵列结构，从而作为表面拉曼增强活性基底，以检测探针分子的拉曼信号。