一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器及其制造方法

摘要

一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器及其制造方法，包括柔性衬底，电容和电感，SU_8介质层以及用于测试的输入端和输出端。电容采用金属‑绝缘层‑金属结构，电感采用螺旋结构。电容和电感通过金属线互联并与地线连接，用于测试的输入输出端也用此层金属线连接。建立在柔性衬底上的射频电容和电感连接成带阻滤波器，利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化，从而形成通过机械应变而可调的无源带阻滤波器。本发明结构简单，并且寄生效应少。调谐简便，节省了调谐的成本，并且调谐范围较窄，灵敏度高。

主权项

一种柔性射频应变可调无源带阻滤波器，包括衬底(1)和设置在衬底(1)上面的绝缘层(2)，其特征在于，所述的衬底(1)上且位于所述绝缘层(2)内分别设置有第一螺旋电感的中心电极(3a)、第一MIM电容的的底层金属(3b)、第二螺旋电感的中心电极(3c)以及第二MIM电容的底层金属(3d)，其中，所述第一MIM电容的的底层金属(3b)上且位于所述绝缘层(2)内由下至上内依次设置有第一MIM电容的介质层(4a)和第一MIM电容的上极板(5a)，所述第二MIM电容的底层金属(3d)上且位于所述绝缘层(2)内由下至上内依次设置有第二MIM电容的介质层(4b)和第二MIM电容的上极板(5b)，所述第一螺旋电感的中心电极(3a)通过第一通孔(61)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第一螺旋电感的输入端(7)，所述第一MIM电容的底层金属(3b)通过第二通孔(62)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第一MIM电容的输入端(9)，所述第一MIM电容的上极板(5a)通过第三通孔(63)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第一MIM电容的输出端(10)，所述第二螺旋电感的中心电极(3c)通过第四通孔(64)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第二螺旋电感的输入端(11)，第二MIM电容的底层金属(3d)通过第五通孔(65)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第二MIM电容的输入端(13)，第二MIM电容的上极板(5b)通过第六通孔(66)连接位于所述绝缘层(2)上端面上的第二MIM电容的输出端(14)，在所述绝缘层(2)的上端面还设置有柔性射频应变可调无源带阻滤波器的输入端(15)、柔性射频应变可调无源带阻滤波器的输出端(16)、地端(17)、第一螺旋电感的输出端(8)和第二螺旋电感的输出端(12)，所述第一螺旋电感的输入端(7)通过金属互连线(18)分别连接所述柔性射频应变可调无源带阻滤波器的输入端(15)和第一MIM电容的输入端(9)，所述第一MIM电容的输出端(10)通过金属互连线(18)分别连接所述第一螺旋电感的输出端(8)和第二MIM电容的输出端(14)，所述第二MIM电容的输出端(14)还通过金属互连线(18)连接柔性射频应变可调无源带阻滤波器的输出端(16)，所述第二螺旋电感的输入端(11)通过金属互连线(18)连接第二MIM电容的输入端(13)，所述第二螺旋电感的输出端(12)通过金属互连线(18)连接地端(17)。