| 摘要 |
본 발명은 공정 챔버에서 생산되는 제품의 교체를 위하여 공정 챔버 내부에 잔류된 유독가스를 제거하는 챔버용 잔류가스 배기 후드장치에 관한 것으로, 하부에 다수의 케스터가 구비되는 본체와; 상기 본체의 상부에 인출수단을 통해 일측으로 인출이 가능하게 구비되고, 상기 공정 챔버의 상부를 덮은 상태에서 공정 챔버의 내부로 외기를 투입시키면서 공정 챔버 내의 잔류 유독가스를 흡입 배기하는 챔버 상부커버부와; 상기 본체의 내부에 외부로 인출되게 구비되고 상기 챔버 상부커버부와 배기관부로 연결되는 배기부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
