发明名称 ELIMINATION DES DISLOCATIONS DANS UN MONOCRISTAL
摘要 L'invention concerne un substrat germe de diamant monocristallin, pour la croissance homoépitaxiale de diamant par dépôt chimique en phase vapeur, présentant un corps constitué : - d'une paroi inférieure servant d'appui sur la base ou porte-substrat d'un réacteur, et - d'une ou de plusieurs parois extérieures latérales, et d'une ou de plusieurs parois extérieures supérieures sur lesquelles la croissance homoépitaxiale est réalisée, caractérisé en ce que l'intérieur du corps est ajouré par une ouverture traversante s'étendant entre la ou les parois supérieures et la paroi inférieure, délimitant ainsi une ou plusieurs parois intérieures sur lesquelles la croissance homoépitaxiale est également réalisée, l'ouverture traversante présentant une largeur d'au moins 0,5 mm.
申请公布号 FR3038917(A1) 申请公布日期 2017.01.20
申请号 FR20150056770 申请日期 2015.07.17
申请人 UNIVERSITE PARIS 13 PARIS-NORD;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 TALLAIRE ALEXANDRE;GICQUEL PRADEL ALIX;MILLE VIANNEY;ACHARD JOCELYN;BRINZA OVIDIU
分类号 C30B29/66;C30B25/20;C30B29/04;H01L21/205 主分类号 C30B29/66
代理机构 代理人
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