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일 실시양태에서 포지티브 톤 포토레지스트 및 네거티브 톤 포토레지스트 중 하나인 포토레지스트를 선택하는 단계를 포함하는 방법이 제공된다. 제1 첨가제 또는 제2 첨가제는 포토레지스트에 기초하여 선택된다. 제1 첨가제는 중합체에 부착된 불소 성분 및 염기 성분을 가지고, 포지티브 톤 레지스트가 제공되는 경우에 선택된다. 제2 첨가제는 중합체에 부착된 불소 성분 및 산 성분을 가지고, 네거티브 톤 레지스트가 제공되는 경우에 선택된다. 선택된 포토레지스트 및 선택된 첨가제 재료는 타겟 기판에 적용된다. |
