摘要 |
【課題】フェイズマスクおよび石英系PLCからの反射光をモニタすることにより、フェイズマスクおよび石英系PLCを平行にするUV誘起グレーティングの作製方法を提供すること。【解決手段】目視でフェイズマスク35と石英系PLC36を後で照射するUV光の光軸に対して大凡垂直になり、大凡互いが平行になるように、フェイズマスク35と石英系PLC36を目視しながら調整する。次に、可視光レーザ光源41から、ミラー42、UV光用ミラー34を介して照射したモニタ可視光をフェイズマスク35および石英系PLC36に照射し、フェイズマスク35および石英系PLC36からの反射光を観察しながら、石英系PLC36からの反射光がフェイズマスク35からの反射光に重なるように石英系PLC36の水平及び垂直方向のあおり角を調整する。【選択図】図1 |