发明名称 画像生成装置、欠陥検査装置および欠陥検査方法
摘要 欠陥検査装置100に、シート状成形体を搬送する搬送部11と、シート状成形体に光を照射する光照射部12と、撮像動作によって2次元画像データを生成する撮像部13と、各2次元画像データによって表される各2次元画像内の明部と暗部との境界線部を抽出する境界抽出部1411と、境界抽出部1411によって抽出された境界線部を繋いで見かけ上の境界線となし、該見かけ上の境界線に現れた鋭いピークがなくなるよう、該見かけ上の境界線を平滑化し、平滑化して得られた本来の境界線を構成する画素を2次元画像データから抽出する再抽出部1412と、再抽出部1412によって抽出された画素からなる1次元画像データを生成し、同様にして複数の2次元画像データから得られた複数の1次元画像データを合成して検査用画像データを生成する合成部1413と、を設ける。
申请公布号 JPWO2014112653(A1) 申请公布日期 2017.01.19
申请号 JP20140557546 申请日期 2014.01.15
申请人 住友化学株式会社 发明人 尾崎 麻耶
分类号 G01N21/892;G01N21/88;G06T1/00 主分类号 G01N21/892
代理机构 代理人
主权项
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