計測装置、および物品製造方法

摘要

【課題】計測時間の点で有利な計測装置を提供する。【解決手段】計測装置は、光パターンを対象物に投影する投影部１と、光パターンを投影された対象物を撮像して画像データを出力する撮像部２と、画像データに基づいて対象物の距離の計測値を得る処理部３と、を有する。当該処理部は、前記計測値の信頼度を予測するための第１情報と該信頼度との関係を示す第２情報に基づいて、光パターンの空間周波数を特定する。【選択図】図１