| 摘要 |
【課題】弾性表面波共振器を不感帯部分と複数の検出部分に配置する加速度センサについて、弾性表面波共振器からの漏れによる他の弾性表面波共振器との相互干渉を、簡易な方法・構成によって十分に抑制することができ、かつ弾性表面波からバルク波へ変換されるエネルギーによる干渉の発生も回避することのできる、弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造を提供する。【解決手段】弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造１０は、弾性表面波ＳＡＷを発生させるための圧電基板９上に複数の弾性表面波共振器２、３等を備えて構成されているセンサ素子１上における構造であり、二の弾性表面波共振器３、４間等に設けられた隆起構造である。圧電基板９はの支持部９ｃと錘部９ａ、９ａおよび両者を連結する梁部９ｂからなる形態で、支持部９ｃに基準弾性表面波共振器３、および梁部９ｂに弾性表面波共振器２、４が設けられる。【選択図】図１ |
