| 摘要 |
【課題】第１ヘッドから第２ヘッドへ受け渡される部品の位置ずれを抑制する。【解決手段】ウエハＷからベアチップを取出して基板Ｐ上に搭載する部品実装装置Ｍ１。部品実装装置Ｍ１は、ウエハＷからベアチップを取出すウエハヘッド４１ａと、ウエハヘッド４１ａが取出したベアチップを、所定の受け渡し位置で当該ウエハヘッド４１ａから受け取って基板Ｐ上に搭載する実装用ヘッド１２ａと、実装用ヘッド１２ａに保持されたベアチップを撮像する固定カメラ１８Ａ、１８Ｂと、各ヘッド１２ａ、４１ａを制御する制御装置７０とを含む。制御装置７０は、固定カメラ１８Ａ、１８Ｂが撮像した部品画像に基づき、実装用ヘッド１２ａに対するベアチップの吸着ずれ量を求め、このずれ量に基づき、実装用ヘッド１２ａの部品受け渡し位置（目標受渡位置）を補正する。【選択図】図１ |
