电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备

摘要

本发明公开了一种电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备，其中，电感耦合等离子体喷枪包括放电室、气体导入装置、冷却装置和电感线圈；放电室由第一空心管材围设而成，第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置与放电室连通；冷却装置包括第二空心管材、冷却剂导入组件和冷却剂导出组件，第二空心管材围设在第一空心管材的外侧，且第二空心管材的内侧壁与第一空心管材的外侧壁之间存在第一间隙，冷却剂导入组件和冷却剂导出组件均与第一间隙连通；电感线圈设置在第二空心管材的外侧。本发明提高了电感耦合等离子体喷枪在使用过程中的稳定性，有效避免了由于高温造成的破裂，满足了连续生产的需要，降低了安全隐患。

主权项

一种电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，包括放电室，所述放电室由第一空心管材围设而成，所述第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；气体导入装置，所述气体导入装置与所述放电室连通，所述气体导入装置包括反应气体导入管及等离子体气体导入组件，所述反应气体导入管中设置有进气通道和冷却剂流通通道，所述冷却剂流通通道围绕所述进气通道进行设置，所述进气通道与所述放电室连通，所述等离子体气体导入组件上设置有径向导气口和切向导气口，所述径向导气口和所述切向导气口均与所述放电室连通；冷却装置，所述冷却装置包括第二空心管材、冷却剂导入组件和冷却剂导出组件，所述第二空心管材围设在所述第一空心管材的外侧，且所述第二空心管材的内侧壁与所述第一空心管材的外侧壁之间存在第一间隙，所述冷却剂导入组件和所述冷却剂导出组件均与所述第一间隙连通；电感线圈，所述电感线圈设置在所述第二空心管材的外侧。