摘要 |
<p>Ein BAW-Resonator umfasst eine erste piezoelektrische Schicht (106) aus einem Material,das in eine erste Richtung orientiert ist, und eine zweite piezoelektrische Schicht (108) aus einem Material, das in einer zweiten Richtung, die der ersten Richtung entgegengesetzt ist, orientiert ist. Die erste piezoelektrische Schicht (106) und die zweite piezoelektrische Schicht (108) sind akustisch miteinander gekoppelt.</p> |