一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法

摘要

本发明提供一种用于光电子封装领域的柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置用于实时检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值。该方法包括宏观位姿检测和微观位姿检测。本发明宏观位姿检测采用五个激光位移传感器对动平台的位姿进行检测，整套检测系统具有体积小、成本低等优点；动平台连接件放置在定平台的下方，两者不接触，不会对动平面的运动造成干扰；有两个激光位移传感器放置在柔性并联平台的外面，不会增加对动平台的压力。微观位姿检测是利用光功率计进行调整，通过光功率计的透光量来进行微调。

主权项

一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统，其特征在于，包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值；所述动平台、定平台和动平台连接件自上而下依次平行设置，所述动平台通过六个连接杆与所述定平台连接。