直通型炉及具有直通型炉的管芯粘结机

摘要

本发明涉及直通型炉及具有直通型炉的管芯粘结机。本发明涉及一种直通型炉，其包括炉体(2)和覆盖件(6)，炉体和覆盖件包围通道，能够通过该通道输送基板并且工作气体能够被供应至该通道。覆盖件(6)包括至少一个工艺开口。在可拆卸地彼此连接的直通型炉的单独的部件之间的界面形成有彼此相对的配合表面(11、12)。所述界面中的至少一些界面包括沟槽(15)，能够在操作中向沟槽(15)供应真空。进入到配合表面(11、12)之间的不可避免的间隙中的空气通过吸力经由沟槽(15)被吸走，且不会到达炉的内部空间。本发明还涉及一种具有这样的直通型炉的管芯粘结机。

主权项

一种直通型炉，所述直通型炉具有炉体(2)和覆盖件(6)，所述炉体(2)和所述覆盖件(6)包围通道，能够通过所述通道输送基板并且工作气体能够被供应至所述通道，其中所述覆盖件(6)包括至少一个工艺开口(10)，所述炉体(2)和所述覆盖件(6)包括一个或多个单独的部件，所述一个或多个单独的部件可拆卸地彼此连接，在所述单独的部件之间的界面被形成为平坦连接部，所述平坦连接部具有彼此相对的配合表面(11、12)，并且所述界面中的至少一些界面包括沟槽(13、15、20、22)，在操作中能够向所述沟槽(13、15、20、22)供应真空。