组合式镀膜工件伞架

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种组合式镀膜工件伞架，其特征在于：所述镀膜工件伞架至少包括中心固定件、若干支撑臂和基片盘，若干所述支撑臂的一端分别与所述中心固定件之间构成可拆卸式的连接固定，所述基片盘搭载在相邻的所述支撑臂之间，所述基片盘用于承载所述基片。本实用新型的优点是：1)便于取放；2)便于根据镀膜需求灵活选择伞架的分割数和伞架的面形，宜于后续产品的拓展；3)单个基片盘体积小、稳定性好，易于管理和清洁维护，前、后延自动化的拓展更安心；4)对应于客户现状产品，单罩产量更好；5)优化改良成膜均匀性。

主权项

一种组合式镀膜工件伞架，用于承载基片，其特征在于：所述镀膜工件伞架至少包括中心固定件、若干支撑臂和基片盘，若干所述支撑臂的一端分别与所述中心固定件之间构成可拆卸式的连接固定，所述基片盘搭载在相邻的所述支撑臂之间，所述基片盘用于承载所述基片。