| 摘要 |
【課題】 レーザ光を走査する３角測量法の測定原理の３次元形状測定装置において、簡易の方法でラインセンサの中心線と反射光の光路とが常に交差するようにする。【解決手段】 入射口板状部材２０の厚さを、出射口板状部材１８の外面と入射口板状部材２０の外面が同一平面内に含まれ、入射口板状部材２０に入射する反射光の光路は、結像レンズの光軸と一致しており、入射する反射光の入射位置と入射方向の逆方向を走査したレーザ光の走査平面に投影した位置と方向が、走査したレーザ光の出射口板状部材１８から出射する位置と方向と一致するとしたときの、出射口板状部材１８に入射する前のレーザ光の光路を延長させたラインと、入射口板状部材２０に入射した反射光の光路を走査平面に投影した光路と、が交差する点Ｓから出射口板状部材１８の外面までの距離で設定する。【選択図】図４ |
