| 摘要 |
웨이퍼 상의 고정된 위치(들)에 대한 웨이퍼 검사 좌표를 결정하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 시스템은, 웨이퍼 상의 적어도 하나의 스팟으로 광을 지향시키도록 구성되는 조명 서브시스템을 포함한다. 스팟은 웨이퍼의 에지를 넘어 연장한다. 시스템은 또한, 웨이퍼를 회전시키고 그에 의해 스팟이 웨이퍼의 에지에 걸쳐 스캔되게 하도록 구성되는 스테이지를 포함한다. 시스템은 또한, 스팟이 에지에 걸쳐 스캔되는 동안 스팟으로부터의 광을 검출하도록 그리고 그것에 응답하는 출력을 생성하도록 구성되는 검출기를 포함한다. 시스템은, 출력에 기초하여 웨이퍼의 에지 상의 두 개 이상의 위치의 웨이퍼 검사 좌표를 결정하도록 그리고 에지 상의 두 개 이상의 위치의 웨이퍼 검사 좌표에 기초하여 웨이퍼 상의 고정된 위치(들)의 웨이퍼 검사 좌표를 결정하도록 구성되는 컴퓨터 프로세서를 더 포함한다. |
