| 摘要 |
【課題】データ保持特性が良好な半導体記憶装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る半導体記憶装置は、基板と、前記基板上に設けられ、上下方向に延びる半導体ピラーと、前記半導体ピラーの側方に設けられ、第１方向に延び、前記上下方向に沿って相互に離隔して配置された複数枚の第１電極膜と、前記半導体ピラーと前記第１電極膜との間に設けられ、前記上下方向に沿って相互に離隔して配置された複数の第２電極膜と、前記半導体ピラーと前記第２電極膜との間に設けられた第１絶縁膜と、前記第２電極膜と前記第１電極膜との間に設けられた第２絶縁膜と、を備える。【選択図】図１ |
