| 摘要 |
【課題】本発明は、小型化で高精度な慣性力センサを提供することを目的とする。【解決手段】支持部と、前記支持部に接続するアーム部と、前記アーム部に接続する錘部と、前記錘部を駆動振動する駆動部と、前記検出素子に働く慣性力を検出する検出部と、を備える。そして、前記支持部に設けられ、前記駆動部に電気的に接続する第１の電極と、前記支持部に設けられ、前記検出部に電気的に接続する第２の電極と、前記支持部に設けられ、基準電気に接続する第３の電極と、を有する。ここで、前記第３の電極は、前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置される検出素子を有する構成とした。【選択図】図１ |
