静圧気体軸受用の円筒状複合部材及びこの円筒状複合部材の製造方法並びにこの円筒状複合部材を具備した静圧気体軸受

摘要

【課題】小径の裏金の内周面であっても接合不良を惹起することがない上に、圧縮気体の漏出の虞をなくし得る静圧気体軸受用の円筒状複合部材及びこの円筒状複合部材の製造方法並びにこの円筒状複合部材を含む静圧気体軸受を提供すること。【解決手段】静圧気体軸受用の円筒状複合部材１は、円筒状の銅管２と、円筒状の外周面３において銅管２の内周面４に一体的に拡散接合されていると共に円筒状の内周面５を備えており、且つ銅を含んだ円筒状の多孔質金属焼結体６と、径方向において銅管２の外周面７から多孔質金属焼結体６の一部まで伸びて銅管２及び多孔質金属焼結体６に形成された環状溝８とを備えている。【選択図】図１